Cómo hacer RAM en casa [video]
(youtube.com)- Se fabricó una celda DRAM con equipo doméstico y un proceso armado directamente, para comprobar el funcionamiento de la estructura básica de RAM que combina un transistor y un capacitor
- Se realizaron paso a paso procesos de semiconductores como corte de oblea de silicio, formación de óxido, fotolitografía, grabado en seco, dopado con fósforo, crecimiento del óxido de compuerta, corte de contactos y deposición de aluminio
- En las mediciones del dispositivo terminado se confirmaron características de conmutación donde la corriente cambia según el voltaje de compuerta, y una capacitancia máxima de 12.3 pF
- En la operación de una celda DRAM individual, el capacitor de almacenamiento se cargó hasta 3 V en unos cientos de nanosegundos, y la carga se mantuvo por un poco más de 2 ms antes de requerir una nueva carga
- Aunque no alcanza el tiempo de retención de más de 64 ms de la DRAM comercial y también mostró límites de miniaturización como punch through, se obtuvo un punto de partida para ampliar un pequeño arreglo de RAM hecho en casa
Estructura de la DRAM y objetivo de fabricación
- Una celda DRAM tiene una estructura en la que se colocan un transistor y un capacitor de almacenamiento de carga en cada intersección de un arreglo compuesto por filas y columnas
- El transistor actúa como interruptor
- El capacitor almacena carga como una batería para guardar 1 bit de información
- Al encender el transistor, el capacitor se carga, y al volver a encenderlo para leer, la carga puede fluir en sentido inverso y detectarse
- Como en el proceso de lectura la carga del capacitor se pierde, se necesita refresh periódico
- El objetivo de fabricación es una estructura pequeña basada en un layout de 5x4 arreglos que luego pueda unirse a otros
- En cada intersección se colocan un transistor y un capacitor
- La meta final para la longitud de compuerta del transistor es quedar apenas por debajo de 1 micra
- En el plano de diseño, cada color representa una capa distinta, y el dispositivo se forma con un proceso de apilado tipo sándwich en el que se agregan las capas una por una
Proceso inicial: preparación del silicio y dopado
- Se usó una oblea de silicio como material de partida, y se cortó en chips pequeños con un diamond scribe
- Se aprovechó la propiedad del silicio de fracturarse bien a lo largo de ciertos planos cristalinos
- Después del corte, se realizó una limpieza con acetona e isopropanol para eliminar contaminantes de la superficie
- Con el objetivo de quitar partículas y disolver materiales orgánicos
- Como después sigue una etapa que convierte la superficie de silicio en vidrio, no se requiere una limpieza totalmente perfecta
- El chip se colocó en un horno y se calentó a 1,100°C para formar una capa de óxido de 3,300 angstroms en la superficie
- Es un método que hace crecer una capa vítrea oxidando el silicio
- Ese óxido sirve después como máscara y capa de protección
- Sobre la superficie con la capa de vidrio se aplicó primero liftoff resist, usándolo como una capa de adhesión
- Aunque es un material pensado originalmente para lift-off de metal, también funciona bien como capa de adhesión
- Se hizo un bake de 5 minutos a 170°C
- Encima se aplicó photoresist por spin coating y luego un bake de 2 minutos a 100°C
- Se formó una película uniforme con un espesor apenas superior a 1 micra
- Se formó el primer nivel de patrón usando UV y una máscara
- La luz que pasa por las aberturas de la máscara expone el photoresist
- En el revelador se eliminan las zonas expuestas y así se forma el patrón
- Un sistema stepper microscópico proyecta el patrón en reducción, y software hecho por el usuario controla el enfoque y la exposición
- También se usó equipo robótico para lograr un revelado más uniforme
- Se realizó grabado en seco usando el photoresist patronado como máscara
- Se eliminó selectivamente la capa de vidrio para exponer la superficie de silicio
- Después del grabado, se retiró el photoresist con DMSO caliente
- El resultado fue una estructura con ventanas abiertas en el óxido de 3,300 angstroms
- Esas ventanas en el óxido se usaron para formar la fuente y el drenaje del transistor
- La fuente y el drenaje actúan como terminales de entrada y salida del interruptor
- La compuerta se forma después en la región central
- Se introdujo fósforo en el silicio para aumentar la conductividad de esas regiones
- En la industria también se usa implantación iónica, pero aquí no se aplicó por costo y tamaño del equipo
- En lugar de un producto comercial se usó un phosphorus doped spin-on glass hecho a mano
- En la muestra de prueba, antes del tratamiento era difícil verificar continuidad con un multímetro
- Después del tratamiento se confirmó una conductividad muy alta
- Se obtuvo un resultado cercano a un nivel de dopado muy elevado
- Se recubrió el chip principal con la misma solución y se hizo un bake con aumento gradual de temperatura
- Para eliminar solventes y evitar grietas y tensiones
- Durante la síntesis aparecieron algunos precipitados de vidrio
- Se menciona que en su mayoría son un fenómeno visual y que no tendrían gran impacto
- También se comenta que la próxima vez sería mejor retirarlos con filtrado
- Se creó una calculadora para predecir la profundidad de dopado y se modeló el perfil de dopado
- El objetivo era obtener un perfil más superficial
- Para ello se hizo un annealing de 5 minutos a 1,100°C y luego se retiró el spin-on glass con HF
- Después se realizó un drive-in annealing de 10 minutos a 1,000°C
Proceso intermedio: óxido de compuerta y contactos
- Tras formar la fuente y el drenaje, se avanzó con el proceso de la región de compuerta del transistor y la región del capacitor
- Como aún quedaba la capa de vidrio, se volvieron a aplicar en secuencia liftoff resist y photoresist
- La región del canal se formó alineándola entre la fuente y el drenaje existentes
- Al mismo tiempo también se alineó y expuso la región del capacitor de almacenamiento de carga situada sobre el transistor
- Después del revelado, se eliminó con HF el óxido intermedio entre fuente y drenaje, así como el óxido adyacente al capacitor
- El óxido en esas posiciones era demasiado grueso, por lo que se necesitaban un óxido de compuerta y un óxido de capacitor con espesor ajustado
- Se realizó una piranha clean para limpiar la región del canal, que es la más importante
- Es una limpieza que elimina con fuerza materiales orgánicos y la mayoría de los metales de la superficie
- Luego se volvió a colocar en el horno para hacer crecer el óxido de compuerta y el del capacitor
- Se buscó un óxido delgado para obtener mayor capacitancia y mejor control de compuerta
- Con un proceso de 38 minutos a 950°C se formó un óxido de 200 angstroms, es decir, 20 nanómetros
- Fuera del dispositivo se mantuvo un óxido más grueso
- Después se realizó el proceso de corte de contactos, que abre selectivamente el óxido para las conexiones eléctricas
- Se aplicaron y hornearon LOR y photoresist
- Se alineó y expuso la máscara de corte de contactos para formar pequeñas aberturas
- El HF eliminó la capa de vidrio sobre la superficie de silicio a través de esas aberturas y creó rutas de conexión eléctrica
Proceso final: deposición de metal y finalización del dispositivo
- En el nivel final se realizó una deposición de metal para formar la compuerta del transistor, los contactos eléctricos y el electrodo del capacitor
- Se volvieron a aplicar y hornear LOR y photoresist, y después se alineó y expuso la máscara final
- Mientras que los procesos anteriores se centraban en quitar material, esta etapa usa las aberturas del photoresist como un stencil
- Es un principio similar al de una plantilla de pintura, formando material solo donde se necesita
- El metal usado fue aluminio
- En un sistema de sputtering, el argón golpea el target metálico y deposita átomos de metal sobre la superficie de la muestra
- El recubrimiento fue uniforme excepto en algunas zonas del borde donde había cinta
- Después se retiró el photoresist con DMSO caliente para hacer el lift-off
- El metal se dobló y se desprendió, dejando solo el patrón deseado
- La observación al microscopio confirmó la estructura completa del arreglo DRAM, incluyendo transistor, capacitor y conexiones
- La estructura en sección también corresponde al esquema conceptual inicial
- El transistor controla el flujo de corriente y carga el capacitor de almacenamiento, permitiendo guardar un bit de datos
Resultados de medición y limitaciones
- Se evaluaron las características eléctricas con equipo de prueba de laboratorio y un analizador de parámetros de semiconductores
- Como se trata de dispositivos a nanoescala, se usaron micromanipuladores con puntas de sonda fina en lugar de cables comunes
- En la medición del transistor se observaron distintas curvas de corriente según el voltaje de compuerta
- Se obtuvieron características de conmutación donde casi no circula corriente o circula una corriente mayor dependiendo del voltaje de compuerta
- Para uso como RAM, basta con una operación básica de encendido y apagado
- Sin embargo, no apareció saturación de corriente como en un transistor normal, y la corriente siguió aumentando a voltajes altos
- Ocurrió punch through, un tipo de short channel effect
- Como la distancia entre fuente y drenaje era menor de 1 micra, al aumentar el voltaje ambas regiones terminan conectándose de hecho
- Esto provoca aumento de corriente y pérdida de control por parte de la compuerta
- A bajos voltajes puede funcionar, pero también deja ver la dificultad de miniaturización
- El capacitor se midió con un CV plotter
- Se midió la capacitancia variando el voltaje
- La capacitancia máxima registrada fue de 12.3 pF
- Un valor cercano al ideal teórico diseñado, de algo más de 10 pF
- Al hacerlo funcionar como una celda DRAM individual, el transistor cargó el capacitor de almacenamiento hasta 3 V en unos cientos de nanosegundos
- Luego el voltaje fue disminuyendo poco a poco con el tiempo
- La carga solo se mantuvo por un poco más de 2 ms
- Después de eso fue necesario recargar
- La DRAM comercial puede retener la carga por más de 64 ms
- Este diseño requiere refresh con mayor frecuencia
- Se afirma que sería la primera vez que se fabrica RAM en casa
- Por ahora está en una etapa de demostración de funcionamiento con apenas unas cuantas celdas
- Todavía no está al nivel de poder ejecutar Doom en una PC
- El siguiente paso es unir las celdas para ampliar a un arreglo más grande
- Después se planea conectarlo a una PC
4 comentarios
Los precios de la RAM subieron tanto que ya vamos a tener que fabricarla en casa para usarla ^^
Comentarios en Hacker News
Parece que los comentarios están haciendo juegos de palabras con
lamb. D-RAM de libre pastoreo, granja de ovejas, alimentado con pasto, carne fresca, etc....jajajaja, qué gente tan divertida